CS-4 | 4" 精密I-V測試測量探針臺系統
特點/應用
◆ 滿足I-V/C-V,PIV測試,光電測試等
◆ 最大可用于6英寸以內樣品測試
◆ 同軸絲杠傳動結構,線性移動
◆ 可放置于手套箱內使用
◆ 形狀輕巧,操作方便,價格實惠 |
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臺體規格
尺寸 |
4英寸/6英寸 |
水平旋轉 |
可360度旋轉,可微調15度,精度0.1度,帶角度鎖死裝置 |
X-Y移動行程 |
4英寸*4英寸 |
X-Y移動精度 |
10微米 |
樣品臺Z軸調節 |
可升降10mm |
樣品固定 |
真空吸附,中心吸附孔,多圈吸附環 |
針座平臺 |
U型針座平臺,最多可放置6個探針座 |
背電極測試 |
樣品臺電學獨立懸空,4mm插孔可接背電極 |
外形尺寸 |
400mm長*400mm寬*500mm高 |
重量 |
約25千克 |
光學系統
顯微鏡類型 |
單筒顯微鏡/體式顯微鏡 |
放大倍率 |
16X-200X |
移動行程 |
水平方向繞立柱360度旋轉,Z軸50.8mm |
光源 |
外置LED無極調節亮度環形光源 |
CCD |
200萬像素/500萬像素/1200萬像素 |
探針座
X-Y-Z移動行程 |
12mm*12mm*12mm |
移動精度 |
10um/2um/0.7um/0.5um |
吸附方式 |
磁力吸附/真空吸附 |
線纜 |
同軸線/三軸線 |
漏電精度 |
10pA/100fA/10fA |
固定探針 |
彈簧固定/管狀固定 |
接頭類型 |
BNC/三同軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子 |
針尖直徑 |
0.2um/1um/2um/5um/10um/20um |
針尖材質 |
鎢鋼/鈹銅 |
可選附件
加熱臺 |
顯示器 |
轉接頭 |
射頻測試配件 |
屏蔽箱 |
光學平臺 |
鍍金卡盤 |
光電測試配件
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PS:探針臺可根據客戶要求定制。
規格及設計如有更改,恕不另行通知。
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